智能潔凈室技術為IC制造保駕護航

　　——訪中電四公司市場管理中心總經理張琪

　　隨著市場環境的優化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等下游行業對集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產業，集成電路的制造對生產環境和工藝的要求極為苛刻。其中，潔凈室的建設是集成電路制造中的關鍵環節，對終產品的性能具有至關重要的影響。

　　作為我國早從事潔凈室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子系統工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路制造企業提供設計、采購、項目管理、施工、設施管理、潔凈室配套產品制造等一體化“交鑰匙”工程服務。

　　2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建設集成電路車間潔凈室項目中，中電四公司為滿足客戶對環境監測的高精度和高穩定性要求，選擇與維薩拉合作，將工業用溫濕度變送器HMT330、本質安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產品，成功應用于北京集電廠房潔凈室。自應用以來，相關儀表和變送器運行穩定，測量準確。

　　纖毫必顯 打造高標準的潔凈車間

　　穿戴嚴密封閉的特制防護服和鞋套，經過嚴格的車間消殺流程，再通過數道相互獨立隔離的車間閘門，操作員方能進入標準嚴苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業品，集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔凈室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環境溫度和濕度等，都將對制造過程產生重大影響。

　　“集成電路的制造對生產環境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數進行極為jingque、穩定的測量，從而確保生產環境的穩定可靠。”中電四公司市場管理中心總經理張琪表示，“2020年，早在北京集電潔凈室項目的投標階段，我們知道維薩拉的相關產品可完全滿足客戶對溫濕度測量的苛刻需求。于是，我們決定采用維薩拉產品作為測量儀表進行投標，由此也開啟了與維薩拉一系列的深度合作。”

　　隨著我國集成電路制造工藝的升級，其制造過程需要的潔凈程度也水漲船高，這對于潔凈室的建設提出了越來越高的要求。據介紹，北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米，對應的潔凈室環境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產品的良品率、使用性能和可靠性。

　　針對上述應用環境，維薩拉的多款產品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環境中和苛刻需求下實現測量，還可針對不同的應用環境實現定制，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔凈室等環境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現場更換，輕松實現測量的可追溯性。

　　值得一提的是具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX。即使在誤操作或發生故障的情況下，這款產品也不會造成事故或設備損壞。截至目前，該產品已獲得多項本質安全認證。除測量相對濕度和溫度外，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數，如露點溫度、濕球溫度、濕度、混合比、水濃度、水質量分數、水汽壓和焓值。

　　“維薩拉產品的測量精度不僅完全滿足了潔凈室的設計標準，更大幅壓縮了標準誤差的范圍：將其降低至誤差的三分之一，達到了濕度±1%、溫度±0.1°C，充分保障了潔凈室的可靠運行。”張琪補充道，“出于項目整體精度和穩定性的考慮，維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇。”

　　MAU系統中的 HMT330

　　擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應

　　對于高精尖的工程建設而言，時效的重要性不言而喻。項目所需的各項產品和材料往往有著嚴格的供貨周期，某項關鍵材料的缺失，將直接影響項目的進度。而全球疫情的起伏不定，給產品的供貨時效增添了一抹不確定性。

　　“國際物流需提前預定，疊加疫情影響，一些稀缺的材料和產品需要提前半年甚至更久預定。”張琪表示，“然而北京集電的項目周期非常緊張，高質量的測量產品對項目的完成意義重大，我們一度非常擔心維薩拉的產品能否及時到貨。”

　　事急從權。在產品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商積極配合，在與中電四公司達成初步購買意向、尚未簽署正式購買合同時，提前鎖定了項目所需的產品，并充分協調內外部資源，將產品如期送抵客戶手中。

　　具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX

　　“北京集電的項目如期竣工，各項指標均達到了預期水平。截至目前，相關項目設備運行穩定，客戶未反饋任何售后需求。而沒有售后需求，也是對我們產品質量的高度認可。”談及雙方的合作過程，張琪感觸良多，“為了我們的項目，維薩拉的對接同事克服了很多困難，給予了大的支持。這增進了我們雙方的信任，讓我們很感動，也為后續的合作奠定了良好的基礎。”

　　每年，像潔凈室建設之類的承包約占中電四公司總工程量的50%。特別是在超大面積潔凈室、超凈潔凈室、超高空間潔凈室、超精度潔凈室的建設方面，中電四公司有著豐富的工程經驗和相關工程技術。

　　與此同時，維薩拉也憑借著穩定可靠的產品性能、過硬的產品和快速響應的服務，贏得了中電四公司的青睞與信任。相信在不遠的未來，維薩拉將與中電四公司開展更為深入的戰略合作，助力雙方的品牌出現在更多高精尖產品的打造和應用場景之中。

　　溫濕度變送器 HMT120